殘余氣體分析儀（RGA）劃分為100、200、300amu三種型號，其優異的性能使其成為真空分析儀中*產品。每一個RGA系統都由一個四級桿探針和電子控制單元組成，實時分析windows軟件包可以更方便用于數據采集和分析，并可進行遠程控制。

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更新時間：2026-07-23

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氣體分析儀采用的技術原理

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產品介紹

RGA系列殘余氣體分析儀

可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。

◇100，200，和300amu
◇優于1amu的分辨率
◇6個量級的動態范圍
◇可檢測5 x 10^-14Torr

◇實時RGA Windows和LabVIEW軟件
◇質譜，泄漏檢測和壓力對時間方式
◇現場可更換的電子倍增器和燈絲
◇RS232計算機接口

殘余氣體分析儀（RGA）劃分為100、200、300amu三種型號，其優異的性能使其成為真空分析儀中產品。每一個RGA系統都由一個四級桿探針和電子控制單元組成，實時分析windows軟件包可以更方便用于數據采集和分析，并可進行遠程控制。

探測器類型                  標準法拉第杯(FC), 可選電子倍增 (EM)
分辨率                         優于0.5amu
靈敏度(A/Torr)             2 × 10⁻⁴ (FC), <200 (EM).
探測限                       5 × 10⁻¹¹ Torr (FC),
                                      5 × 10⁻¹⁴ Torr (EM)
測試范圍                       10⁻⁴Torr to UHV (FC)
                                      10⁻⁶ Torr to UHV (EM)
操作溫度                       70 °C (max.)
工作溫度                     300 °C (without ECU)