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產品型號：
更新時間：2026-06-23
廠商性質：代理商
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proLINE極紫外EUV光源
· 寬波長，高光通量
· 寬帶輸出或單色波長輸出
· 高可靠性、長期穩定運行的 EUV 光源
· 緊湊型結構設計
德國 hp spectroscopy proLINE 是一款基于等離子體的 EUV 光源，可在 1–20 nm 的多種波長范圍內提供較高光通量輸出。作為一款一站式系統，proLINE 使科研人員能夠更加專注于實驗研究本身。該光源還可搭配我們產品組合中的單色儀或診斷光譜儀使用。
proLINE 具有較高的靈活性，可提供兩個或更多輸出端口，支持同時連接至多條光束線進行實驗。此外，通過氣體選擇和單色儀設置，可實現快速且自動化的波長切換。
我們還可提供定制化版本，包括集成單色儀、聚焦單元以及實驗靶站配置等。proLINE 還可與 X 射線吸收光譜系統 proXAS 配套使用，構建多功能測試平臺。
proLINE極紫外EUV光源特點
基于等離子體的 EUV 光源
· 高光子通量
· 寬帶輸出或單色化輸出
· 豐富的波長選擇范圍
· 無電極結構設計，碎屑污染低
· 300 μm 光源尺寸，實現高亮度
使用方便
· 緊湊型結構設計
· 低使用成本（氣體流量消耗低）
· 高可靠性、長期穩定的EUV 光源
· 可選配集成診斷系統
應用
· EUV 計量檢測
· 掩模缺陷檢測
· 光刻膠（Resist）研發
· EUV 顯微成像
· 水窗波段顯微成像
proLINE的典型等離子體發射光譜。可通過氣體選擇和單色儀設置，實現快速且自動化的波長切換。
采用高可靠性激光等離子體（Laser-Produced Plasma,LPP）技術的XUV光源。
能量范圍：1 –20nm/60 – 1200eV
重復頻率：20 Hz
參數指標
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