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激光與量測
固體激光器
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Quan公司新推出基于Q-Smart系列DPSS激光器,激光器繼承了燈泵Q-smart系列的產(chǎn)品優(yōu)勢,*的自動相位匹配功能,無需手動調(diào)節(jié)光路。
XITON Impress系列深紫外激光器是高重頻二管泵浦調(diào)Q固體激光器。其優(yōu)異的TEM00光束模式非常適合用于計量學(xué)和微細(xì)加工(如半導(dǎo)體或顯示器修復(fù)等),其短的波長適合于直接刻寫應(yīng)用。系統(tǒng)通過RS-232接口*由電腦控制運(yùn)行,可接受不同的觸發(fā)控制模式。
單頻紫外激光器 IXION-193?SLM是單頻二管泵浦全固態(tài)激光器。用于光學(xué)計量、高功率ArF準(zhǔn)分子激光器的帶寬控制和193nm波長的步進(jìn)校準(zhǔn)。光譜帶寬接近理論傅立葉變換限。中心波長以0.01nm的度從190nm到194nm范圍可選。系統(tǒng)可選內(nèi)置高精度光譜儀,度可達(dá)1pm以保證對激光器調(diào)諧的Z大控制。
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